NMW200 / NMW300 全自动晶圆切割贴膜减薄撕膜一体机
产品简介
详细信息
| • 4” ~ 8” /8" ~ 12”晶圆适用 | • 的防静电滚轮贴膜 |
| • 全自动切割膜贴膜 | • 的机械手撕膜技术 |
| • 全自动减薄膜撕膜 | • 可选嵌入式紫外线照射模块 |
| • 超薄晶圆处理能力 | • 蓝膜、UV膜、预切割膜适用 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 工控机+Windows系统 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • 与减薄抛光机联机能力 |
| • 晶圆非接触对位 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
| • 4” ~ 8” /8" ~ 12”晶圆适用 | • 的防静电滚轮贴膜 |
| • 全自动切割膜贴膜 | • 的机械手撕膜技术 |
| • 全自动减薄膜撕膜 | • 可选嵌入式紫外线照射模块 |
| • 超薄晶圆处理能力 | • 蓝膜、UV膜、预切割膜适用 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 工控机+Windows系统 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • 与减薄抛光机联机能力 |
| • 晶圆非接触对位 | • SECS/GEM或简易联网能力 |