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通用设备真空泵

自动扩膜机

供应商:
上海宏轶电子科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

DE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序,配备进口导轨,温控系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距

详细信息

DE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序,配备进口导轨,温控系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距。


产品特点:   

Ø   扩膜的高度和速度可调整;

Ø   适应MODTF2系列框架;

Ø   工作盘具有加热功能,有助于膜的延伸性;

Ø   调整工作盘上升的高度,即可调整晶粒之间的间距;

Ø   可选配备圆周刀划膜功能;

Ø   装有气弹簧,翻盖省力功能。

型号

DE100

DE200

DE300

单位

备注

规 格 参 数

适用产品尺寸

3~6

3~8

3~12

Inch

可定制特殊品

适应环规格

MODTF2-6

MODTF2-8

MODTF2-12

可定制特殊品

适应膜的种类

PVC膜、蓝膜

PVC膜、蓝膜

PVC膜、蓝膜

可定制特殊品

台盘加热范围

室温~80°

室温~80°

室温~80°

°

扩张高度

10~70mm

10~70mm

10~100mm

mm

动   力

电源

单相AC 220

单相AC 220

单相AC 220

V

可定制AC100V

压缩空气

0.5~0.8

0.5~0.8

0.5~0.8

MPa

设备重量

90

90

120

Kg