NTW360 / NTW360L 全自动晶圆减薄贴膜机、覆膜机
产品简介
详细信息
| • 8" - 12"晶圆适用 | • 的防静电滚轮贴膜 |
| • 可处理厚度300um以上晶圆 | • 多轴精密控制轨迹切割刀设计 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 蓝膜、UV膜、光刻膜适用 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • 工控机+Windows系统 |
| • 配置12" 装卸料坞 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
| • 晶圆非接触对位 |
| • 8" - 12"晶圆适用 | • 的防静电滚轮贴膜 |
| • 可处理厚度300um以上晶圆 | • 多轴精密控制轨迹切割刀设计 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 蓝膜、UV膜、光刻膜适用 |
| • 智能测绘料篮内晶圆 | • 工控机+Windows系统 |
| • 配置12" 装卸料坞 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
| • 晶圆非接触对位 |