SFM/SFC5400系列质量流量计/控制器
产品简介
详细信息
技术规格：
▶ 超快响应和稳定时间（50毫秒）
▶ 优良的精度/重复性(分别为测量读数的0.8%/0.1%)
▶ 很宽的动态范围 (量程比可达1000：1)
▶ 多种数据接口可供选择：RS485, DeviceNet, IO-Link和模拟电压/电流
▶ 多种机械连接可供选择：Swagelok, VCR, VCO, Legris, C-Seal, W-Seal
▶ 实标的多种气体和气体识别
▶ 美国国家标准及技术研究所的可追溯校准
▶ MTBF169年-无需再校准
应用领域：
SFC5400/SFM5400产品的优异性能使其成为分析仪器、涂层/蚀刻设备、医疗设备和过程自动化等广泛应用的。
仪表参数：
| 参数 | 值 | 单位 | |
| 流量范围 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 | 20, 50, 100, (200 ①) | ln/min or slm |
| 精度 ② | 0.8 | 1 | % s.p.③ |
| 两者以较大者为准 | 0.08 | 0.1 | % FS |
| 重复性 | 0.1 | 0.2 | % s.p. |
| 两者以较大者为准 | 0.01 | 0.02 | % FS |
| 稳定时间典型值 ④ | 100 (50 for optimized OEM versions ⑤) | ms | |
| 取样频率 | 1000 | Hz | |
| 量程比 ⑥ | 超过 1000:1 | ||
| 标准标定气体 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||
| 用气体转换标定的气体 ⑦ | 标准: SF6, C4F8 | ||
| OEM版，可根据要求与其他气体或混合物 | |||
| 工作温度(环境和气体) | 0 – 50 / 32 – 122 | °C / °F | |
| Temp. coeff. zero | 0.005 | % FS / °C | |
| Temp. coeff. span | 0.06 | % s.p. / °C | |
| 全量程压降：SFC5400 | < 2.0 / 29 | < 3.0 / 43 | bar / psig |
| 全量程压降：SFM5400 | < 0.1 / 1.5 | < 0.2 / 3 | |
| 输入压力 ⑧ | 10 / 145 | bar / psig | |
| 差压 ⑨ | 5 / 73 | 4 / 58 | bar / psig |
| MFC外部泄漏 | 9 x 10-9 | 9 x 10-6 | mbar l/s He |
| 电磁阀泄露量 | 1 x 10-6 | mbar l/s He | |
| 热机时间 ⑩ | 1 | sec | |
① 精度会降低；
② 包括偏移、非线性和迟滞。根据NIST可追踪基准测量；
③ 读数%=测量点精度=流量=读数；
④ 设定点5%精度内流量从10%到99%的响应时间，具有模拟接口的质量流量控制器由于模拟电路延迟(通常由因子2)而需要较长的稳定时间；
⑤ 50个最小年用量；
⑥ 参数只适用于质量流量控制器。具有模拟接口的设备的性能取决于布线质量，通常不超过500：1；
⑦ 气体转换是利用标准气体的组合从实际的气体校准数据中产生的。典型的准确度为2%M.V。/0.2%FS(以较大者为准)。
⑧ 进气道与周围环境的压力差；
⑨ 进气口和出口之间的压差。
⑩ 读数稳定到设定点的2%精度内的时间。