冷场发射扫描电子显微镜
产品简介
详细信息
产品介绍
设备名称： 冷场发射扫描电子显微镜
型号： S4800
厂家：日本Hitachi
主要用途：
该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察，点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置，因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应，适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品（有机、高分子、生物样品等）的表面高分辨成像。
主要配置：
电子束减速装置
性能指标：
1、二次电子图像分辨率
≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式)
≤1.4nm 保证(照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置)
放大倍率：20~800,000×
2、样品台
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
样品尺寸（直径） 100mm
样品台控制 五轴马达驱动
