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大载重气浮光学平台

ZHDF系列独立支撑大载重气浮隔振光学平台是采用了独立气浮支撑，在重载荷下具有对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果。

ZHDF系列独立支撑大载重气浮隔振光学平台

应用领域：

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点：

■潜行科技依托于光电子产业科研工作人员，研发制造的一款通用性隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求，在重载荷下具有对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。

■优异的隔振性能：内置精密空气弹簧隔振系统，具备优秀的固有频率，对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准，标配优质压缩机。

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为1cr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔阵列，易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。

■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

技术指标：

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有频率；水平方向：1.5Hz～2.5Hz 垂直方向：1.5Hz～2.5Hz

■减振效率：水平方向＜5Hz时：88%～94% 垂直方向＜5Hz时：86%～92%

水平方向＜10Hz时：92%～98% 垂直方向＜10Hz时：90%～95%

■振幅：< 1μm

■荷载能力：根据台面重量匹配隔振器规格。

■重复定位精度：±0.05mm

产品选型表：