αL4X-911R1 主动隔振系统（电子显微镜、半导体设备专用）
产品简介
详细信息
日本特许机器株式会社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁产品的制造商，一台主动式除振装置实用机由TOKKYOKIKI于1988年在日本半导体展示会上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密稳定，坚固耐用的防振产品、振动分析仪器和各行业防振设备，以满足各领域不同产业的不同需求。
αL4X-911R1主动式隔振平台是结合了空压（低频）和线性马达（高频）的两种优点，专为扫描电子显微镜而设计的高精密隔振平台。 本主动隔振系统可将影响仪器设备正常工作的安装场地的细微振动，在所有频率范围内予以全面衰减而不降低仪器设备本身具有的各项性能。 αL4X-911R1的基本原理和功能 利用加速度传感器检测地板的振动，通过6自由度的反馈及前馈控制的双重主动控制，由气动和线性马达执行器来实现振动衰减，消除影响电子显微镜正常工作的安装场地的细微振动，满足电子显微镜厂商提供的允许振动值。 技术参数：
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