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日立场发射扫描电子显微镜REGULUS8200（冷场）

日立新型冷场发射扫描电镜Regulus8200系列是集高分辨观察和大束流分析与一体的扫描电镜.Regulus8200冷场扫描电镜不仅秉承以往冷场发射扫描电镜的全部优点,还大幅提高了探针电流,并极大增强了电流的稳定性.

1. 创新型冷场电子枪，束流更大更稳定，高分辨观察和分析兼顾           
2. 大幅度提高的分辨率0.7nm@1kV、0.6nm@15kV)； 
3. 超高真空发射枪和样品室，将样品污染降至 
4. 选配顶端过滤器，可实现良好的成分对比度 
5. 优异的扩展功能，可附加多种功能附件。