半导体硅晶圆电子元器件产品热处理
产品简介
详细信息
设备型号 NB250V
温度 1000℃
使用温度 ≤900℃
功率电压 24Kw三相 380V 自备40A空气开关
加热元件 红外加热管，升温速率≤180℃/min
加热区 Φ250*H400mm
石英管规格 外径250/内径240/长1000mm
极限真空度 5*10-4Pa（空炉、冷态、经净化）
主要电气配件 施耐德
真空机组 二组 机械泵+分子泵
设备优势 高洁净、高真空、高效率
产品认证标准：CE
质量管理体系：ISO9001-2015
公司提供材料技术支持，验证性设备提供。