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非接触式测厚仪

供应商:
北京艾姆希半导体科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

采用气脉冲式非接触测量,可以避免接触测量引起的表面损伤,特别适用于软脆材料及对样品表面质量要求高的样品测量,是半导体、光学及电光材料等非常理想的测量仪器。

详细信息

  • • 采用“气脉冲”式非接触测量,测量精度可实现 1 微米,仪器操作简单,性能稳定。
    • 测厚仪配置的测量探针将压缩氮气垂直向下吹向被测量的样品表面, 在样品表面上形成稳定气膜,可以不接触样品表面进行厚度测量,并通过数字显示系统显示出所测得样品的厚度数值。
    • 响应快速、精度高、不受被测目标材质影响。

     
  • 测量臂带微调功能
    测量范围 : 0-180毫米
    厚度范围:0~500mm(或可按要求设定范围)
    样品尺寸:8英寸及以下尺寸
    线性度 : 0.25%
    数字显示器 : 4.5位LED单位为微米
     
  • 读数精度:0.1um
    测量精度:1um
    晶圆供气 : 清洁仪表空气或氮气
    探头分辨率 : 2.5um
    重复性 : ±1um
    气隙 : 75um(约)
    花岗岩底座尺寸 : 300x210x60mm(可定制)
     
  • 适用的材料包括:
    • 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
    • III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
    • 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
    • 红外材料(CZT、MCT等)
    • 光电材料(LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等)
    • 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
  • 应用的范围包括:
    • MEMS
    • 半导体器件
    • 半导体衬底
    • 封装