QZ360 ppb超低露点仪 半导体高纯气露点仪
产品简介
详细信息
半导体高纯气露点仪
半导体高纯气露点仪采用对水分敏感的石英晶体微平衡传感器，简称石英振荡传感器，具有抗污染，无漂移等优点，测试范围可低至-120度露点仪，也就是ppb微量水分析仪，半导体高纯气露点仪在半导体高纯气体，新材料特种气体及研发机构中应用广泛，是为数不多的石英振荡技术实力派之一。石英晶体振荡露点仪
- 半导体高纯气露点仪特点
- 全量程从0.001 ~ 2000 ppmV 范围，实现高精度的测量
- 使用简便，现场维护方便快捷，维护成本低
- 精度高达 0.01ppmV，取较大值
- 半导体高纯气露点仪针对变化中取样条件进行可靠的测量 — 根据样气压力和流量的变化进行自动调整
-
- 不受背景气体组分改变的影响
- 维护间隔时间长
- 十分钟时间就可以替换干燥筒
- 直观的菜单界面
- Ethernet 或者 USB 数字通讯
- SD 卡数据记录
- SD 可选内置取样系统和旁路
三、半导体高纯气露点仪产品技术参数
| 性能 | |
| 测量技术 | 快速响应的石英晶振技术 |
| 范围 | 校验范围 0.1 到 2000ppmv |
| 精度 | 0.01 ppmV （ 0.001 ~ 1 ppmV） 读数的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV） |
| 重复性 | ±0.01 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV） 读数的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV） |
| 测量单位 | ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf |
| 响应速度 | T63 <2 分钟 T95 <5 分钟 |
| 灵敏度 | 0.001 ppmV 或读数的1%，取较大值 |
| 自我校验 | 内置湿度发生器作为标准源 校验可溯源到 NPL & NIST |
| 灵敏度 | 0.001ppmv 或 1% 读数，取zui大 |
| 显示 | |
| 半导体高纯气露点仪 | 可选 |
| 模拟输出 | 2 路可选4–20 mA 或1 到 5 V |
| 数字输出 | 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet传输 |
| 数据记录 | 直接记录到 SD 卡或通过 PC 应用软件传输 |
| 报警 | 1 x 系统警报，干接点(FORM C) |
| 电源 | 24V |
| 工作条件 | |
| 进气压力 | 1 barg |
| 出气压力 | 大气压 |
| 样气流量 | 300ml/分钟 总流量 @ 大气压 |
| 样气温度 | 0 ~ +100°C |
| 工作环境 | 室内：+5 ~ +46°C，zui高达到90% RH |
| 机械性能 | |
| 外壳 | 不锈钢 |
| 气体接口 | G1/2英寸 |
| 重量 | 0.2Kg |
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