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ICP-MS全称电感耦合等离子体质谱（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry), ICP-MS技术是将ICP的高温电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。该技术具有检出限低、动态线性范围宽、干扰少、分析精度高、速度快、可进行多元素同时测定等优异的分析性能，已从最初在地质科学研究的应用迅速发展到环境保护、半导体、生物、医学、冶金、石油、核材料分析等领域。

仪器特点：

敞开式进样系统，配备外部可装卸的玻璃同心雾化器与玻璃旋流雾室。4通道12滚轮的蠕动泵，与进样系统紧凑的安装，速度可变，由计算机控制
三级真空系统配置了分流式分子涡轮泵，拥有的气体排气量，顶端开启式真空室，更容易接近分析器组件。
真空室内部所有元件的电路连接都采用了固定在真空室顶盖上的金弹簧顶针接头，减少了连线，使RF高频泄漏降到最小，并确保电路通畅。
四极杆电源采用DDS（直接数字频率合成）技术，实现频率自动匹配。
*的碰撞反应池技术有效地消除由样品基体或等离子源引起的各种多原子离子干扰，同时保持碰撞反应池内的副产物最小化。
*的数模信号转换电路，同时配有而新颖的检测器内的变压器系统，提供快速的模拟信号采集，增加信噪比，改善检测器在长期使用下的稳定性
多通道缓冲器数据采集，允许快速不间断的数据采集。
跳峰模式，全扫模式，峰扫描模式，在一次样品数据采集中，可选用混合扫描数据采集模式，使用集成的软件进行时序分析。

仪器参数：

背景噪声220≤5cps
灵敏度：Be≥5，In≥150，Bi≥100检出限（ng/L) Be≤4，In≤2，Bi≤2
丰度灵敏度IM-1/IM≤1×10-6，IM+1/IM≤5×10-7
氧化物离子产率：156CeO+/140Ce+≤3%或154BaO+/138Ba+≤3%
双电荷离子产率：69Ba++/138Ba+≤3%
质量稳定性9（Be）±0.05，115（In）±0.05，209（Bi）±0.05
质量分辨率（u）≤0.8
冲洗时间（s）≤60
同位素丰度比测量精度107Ag/109Ag≤0.2% 206Pb/208Pb≤0.2%
短期稳定性≤3.0%；长期稳定性≤5.0%