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日立新一代超高分辨钨灯丝扫描电镜SU3500系列:

1.成像功能

　　SU3500所具备的新型的模拟图像和改进后的电子光学系统以及图像显示算法使之能够在低加速电压下获得更高的分辨率。3KV电压时，SE图像可达7nm,5KV电压时，BSE图像可达10nm。新开发的自动多级电子枪偏压机构能够在不降低电子束大小的情况下，在一定范围内的常用加速电压下增加发射电流。因此，此款产品与S-3400N相比，噪音得以大幅减少，成像更加清晰。

　　通过SU3500的新开发并优化过的图像处理方法，现在可以很容易地在快速扫描模式下观察到低噪声的图像。高速自动聚焦控制(AFC)和自动亮度及对比度控制(ABCC)的增强，使您可以缩短*2SEM(扫描电子显微镜)的观察循环时间(TAT)

2.低真空功能操作的优异性

　　新设计的真空程序使真空范围可以达到6-650Pa,实时真空反馈允许在用户特定的压力设定下保持样品室的快速的真空稳定性。在低真空模式下直接观察更清晰。

　　SU3500具有一个可变压力模式，允许对处于自然状态下的潮湿，油腻和非导电样品进行观察。由于正电离子是电子束撞击残余气体分子的结果，所以不需要进行传统的样品前处理，比如干燥和金属镀层。

　　新开发的超高灵敏度可变压力探测器得以进一步优化，特别是在可变压力模式下观察超薄表面的微观结构方面。通过同时观察从标准BSE探测器得到的组成图像，使得在多种应用下进行的各种各样的分析都成为可能。振木先生以铜矿物、树脂填料、水虱等图像为例真实的再现了SU3500的这项功能。

3.友好的用户界面

　　SU3500的用户界面使工作效率得到极大的提高。它的显示器像素为：大1,920×1,200像素 ，采用24.1英寸宽屏显示器，提高了可视性和操作性，宽屏显示器不仅使得单一模式下的显示尺寸更大，而且还可为种用途实现多种显示模式。用户可以通过菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏幕图像显示。

　　单幅图像(800×600像素)的功能是便于找到视野及聚焦；双幅图像(800×600像素×2)可以同时显示不同的探测器观测到的实时SEM图像。例如，此功能对于显示超薄表面的微观结构的UVD图像和成分BSE图像非常有效；四幅图像(640×480像素×4)可以同时显示不同信号的4种实时SEM图像。例如，此功能对显示SE图像，BSE成分图像，BSE形貌图像和BSE 3D图像非常有效；全屏幕图像(1,280×960)大尺寸和高分辨率的实时图像，适合多人同时观察。信号混合功能是将同一视野内的不同信号合成到一幅画面里的功能。例如：具有样品表面微细结构信息的二次电子(SE)像和具有丰富的成分信息的背散射电子(BSE)像，通过合成可以在一幅画里同时显示样品表面的微观形貌和成分信息，更易于评价与解析。

　　显示图像的宽高有2种模式可以供选择。用户的界面可以根据用户的应用目的选择佳的操作条件。对于SEM的初学者来说，可以在不具备任何技术知识的情况下很容易地操作。除了通过操作按钮之外，诸如聚焦，放大倍率，扫描速度，亮度自动调整以及图像都可以通过面板完成操作。嵌入式日常维护视频文件使您能正确有效的进行日常维护。

4.多功能样品室能容纳各种样品

　　优中心5轴马达驱动样品台主要是：1.移动X-Y，倾斜T，旋转R，Z轴(高度)控制通过轨迹球(操纵杆为选配)，鼠标和输入数值控制。2.X-Y轴移动步幅控制通过点击可以实现每一个距离的移动。对于观察等间隔的图形有效。3.与Z轴聚焦点联动的高度轴自动调整。即使当Z轴位置改变时，图形也将随时保持聚焦状态。4.优中心倾斜，旋转。从现在的观察位置倾斜，旋转样品时，图形不会大幅地偏离视野。5.观察位置的图形显示。此功能可把样品和物镜的相对位置在一个图形上显示出来。

　　图像导航允许操作者使用一个低倍率的SEM图像和光学范围的图像，或者数字图像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)浏览样品寻找视野。

　　RISM：通过点击其位置，可以把感兴趣的部分移动到屏幕中心位置。ZOOM：通过拖动将感兴趣的点框起来，然后被框起来的区域将自动居中并扩大。

　　样品台移动到某抓图位置，即使选择后拍摄的100张图像中的任何一幅，都可以重现其样品台坐标。

　　样品座/真空系统：支持多种观察的样品座：有适用于14和33(12.7毫米样品托)个样品的多用途样品座。还有为特定目的而准备的样品座。择样品托号码，按移动键即可将选好的位置移动到画面中心。

　　SU3500在真空系统的阀门上采用可靠性高的气动阀。该气动阀在遭遇意外停电时可瞬间关闭。因此可以防止主机和样品室的真空劣化。一般带有低真空功能的电镜需要2台机械泵，而SU3500则只要一台即可。