MEMS超声波传感器芯片及阵列：

基于MEMS工艺开发，具有尺寸小、功耗低、可靠性好、一致性高、可阵列化的优点；

可广泛应用于汽车近距探测和泊车辅助、智能机器人的测距避障、无人机的近地高度测量、工业产品的液位和流量测量等场合，具有广阔的市场前景。

MEMS超声波传感器性能指标：