OP-AI系列气浮隔振光学平台 OP-AI系列气浮隔振光学平台
产品简介
详细信息
• 固有频率：＜1.2～2Hz
• 重复定位精度：±0.10mm
• 台面材料：SUS430高导磁不锈钢
• 台面厚度：100/200/250mm
• 平面度：≤0.05mm/m2
• 台面粗糙度：≤0.8μm，局部可达0.4μm
• 气浮支架：双层气室，3个真空管水平调节阀，四或六支撑腿
• 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～+20mm
• 孔间距：25mm（机械打孔）
• 孔径：M6螺纹孔
| 型号 | 规格（mm） | 台面厚度（mm） | 载荷（Kg） |
| OP-AI-0906 | 900×600×800 | 100 | 400 |
| OP-AI-1208 | 1200×800×800 | 100 | 450 |
| OP-AI-1510 | 1500×1000×800 | 200 | 550 |
| OP-AI-1512 | 1500×1200×800 | 200 | 550 |
| OP-AI-1609 | 1600×900×800 | 200 | 550 |
| OP-AI-1812 | 1800×1200×800 | 200 | 600 |
| OP-AI-2012 | 2000×1200×800 | 200 | 650 |
| OP-AI-2015 | 2000×1500×800 | 200 | 650 |
| OP-AI-2412 | 2400×1200×800 | 200 | 800 |
| OP-AI-2418 | 2400×1800×800 | 200 | 800 |
| OP-AI-2515 | 2500×1500×800 | 200 | 800 |
| OP-AI-3012 | 3000×1200×800 | 250 | 1000 |
| OP-AI-3015 | 3000×1500×800 | 250 | 1200 |
| OP-AI-4015 | 4000×1500×800 | 250 | 1400 |
| OP-AI-4515 | 4500×1500×800 | 250 | 1400 |