双轨自动涂源机 供应商:首昂光电(上海)有限公司 企业类型:其他 在线询盘 进入展台 产品简介 产品介绍:1)控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护 详细信息 产品介绍:1)控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。2)传片方式通过导轨丝杆传动。3)主轴使用伺服电机,RS485通讯精确控制转速。4)采用蠕动泵滴源,保证了定量滴乳胶源,可节省扩散源用量。5)设置灵活,多功能。通过一键设置,可将自动涂源转换为手动涂源。7)热板控温方式为温控表,自带超温保护系统,热板均匀性好。热板采用顶针升降,方便晶圆烘烤。 转速 5000RPM 转速精准度 ≤1-4%RPM 涂源 滴胶手臂控制 步进马达 滴胶头位置精准 ≤0.2mm 该设备为全自动上下料涂源设备,主要应用于3-6寸晶圆涂源、烘干,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为双轨道形式,上料、涂源、烘干、取料。