PE-CVD PE-CVD等离子体辅助化学气相沉积系统
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PE-CVD等离子体辅助化学气相沉积系统
石墨烯（Graphene）自2004年发现以来，在短短数年间已经成为凝聚态物理、化学、材料科学等领域研究中倍受瞩目的“明星材料”。
化学气相沉积（CVD）是目前制备石墨烯的较有效、也是较具研究价值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化学气相沉积系统并非易事，即使在系统搭建完成后，要真正制备出单层石墨烯，还需要较长时间的参数优化。这往往使得科研人员错过了较佳的研究时机。
系统参数 ：
样品腔
1、 样品腔材质：高纯度石英管 1根
2、 直径：50mm； 长度：1500mm
3、 端口：不锈钢法兰接口，内置水冷却结构
4、接口：1/4寸不锈钢管
等离子体发生器
1、 功率输出范围: 0-500W
2、 信号频率: 13.56MHZ±0.005%
3、 功率稳定度：≤2W;
4、 较大反射功率:100W
5、整机保护：DC过载保护、DC/功放过温保护、反射功率保护、匹配超时保护;
6、传输效率：＞90%
7、频率自动匹配时间：3~5s
加热炉
1、温度范围：室温-1200°C
2、控温精度：±1°C
3、加热区长度：400mm
4、恒温区长度：200mm
5、加热元件：高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2
6、额定功率：2.5KW
7、工作电压：220V
8、较大升温速度：<15min （滑动模式：<10min）
导轨滑块
1、炉台滑动范围：1200mm
2、移动方式：手动
气体控制
1、气体：Ar， H2 ， CH4
2、流量控制：
3、Ar(1000sccm), H2(100sccm）, CH4（50sccm）
4、流量控制器：日本小岛
5、精度：1%，
6、输入：0-5V RS232
7、较大耐压：1MPa
8、控制响应时间：<1S
真空系统
1、真空泵：Agilent DS202
2、压力范围：10-3 Torr - 760 Torr
3、较大抽速：8.3 m3/h
4、真空计：TamaGawa 皮拉尼真空计
5、真空测量范围：1atm-10-1Pa
自动控制系统
1、配备控制计算机及控制软件，内置生长参数
2、实时显示所有实验参数，
3、自动保存实验参数
设备总尺寸
1、1800（L）*700（W）*1500（H）mm