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CSC系列半导体材料电学测量系统

CSC系列半导体材料电学测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和Keithley 4200-CSC半导体参数分析集成设计而成，是一款常温或高低温条件下测量有机半导体器件、纳米器件及薄膜材料电学性能测量的综合性测量系统。该系统可以实现-160℃-400℃、空气和真空条件下的半导体器件和材料电压-电流（I-V）测量、超快脉冲电压-电流（I-V）测量、电容-电压（CV）测量、DLCP测量、电阻（RT）和电阻率（ρT）测量、Hall电压测量等，广泛就用于高校、科研、航空航天、院所等领域，是目前科研教学表征和测量半导体器件和薄膜材料的较佳综合测量系统。

测试原理：

CSC系列半导体材料电学测量系统主要由Partulab CPS-7000低温真空探针台、Keithley 4200-CSC半导体参数分析仪和LVRMeaskit直流低温电阻测量套件组成。系统配备Lakeshore336温控仪可以与Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半导体参数分析仪无缝连接，直接可以在半导体参数分析仪实现器件和材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。

样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。

Partulab CPS系列低温真空探针台

配置：

CPS-7000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台

--Lakeshore 336温控仪及传感器

CPS-8000低温真空探针台（二选一）

--4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台

-Lakeshore 336温控仪及传感器

PPS-90真空辅助系统

--包含分子泵机组、真空阀门、真空测量

VSZ70KIT 可视化视觉系统

--7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源