CPS-7000 CPS-7000低温真空探针台
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CPS-7000低温真空探针台
CPS-7000系列液氮/液氦低温真空探针台是Parutulab佰力博公司匠心打造的一款低温电学测量综合性平台，是一种利用液氮/液氦快速制并为半导体晶圆片、器件、材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子功能材料、超导材料、导电材料）等提供一个真空和低温测量环境下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对半导体材料进行电学测量（IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光电效应等），广泛应用于高校、科研、航空航天、院所等领域，是低温薄膜材料电学测量杀手利器。
配置：
技术规格：
温度范围：80K-475K（液氮制冷），4.2K-475K（液氦制冷）；
选配低温选件后，温度可降低到3.2K；选配高温选件，温度范围为20K-675K；
控温稳定性：±50mK；制冷剂消耗：＜1.5Lhr@LHe ＜0.5L/hr@LN2；
降温时间：液氦~30min to10K，~60min to 5K；液氮~45min to 110K，~60min to 80K；
较大测试样品尺寸：直径51mm；
XYZ位移平台行程与精度：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；
频率范围：测量DC到67GHz；真空环境：~10-5-10-6mabr；
顶部光学观察窗：标准2.0‘’（51mm）；
4个直流探针臂，较多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三同轴接头及配套电缆