GJTJ-4A机械式四维工件台
产品简介
详细信息
GJTJ-4A机械式四维工件台
1.技术参数
l X向行程：100mm并可定制
l Y向行程：100mm并可定制
l Z向行程：15mm并可定制
l θZ向旋转范围：±15°
l θZ向旋转精度：1″
l 重复定位精度：±300nm（±3σ）
l 分辨力：60nm
l 直线性：1″到5″
l 正交性；5″
2.配置
（1）机械系统
l 电机4个：日本乐孜步进电机（伺服电机可选）
l 丝杠3根：日本THK公司产品
l 导轨4根：日本THK公司产品
l 光栅3根：美国Micro-E产品（分辨力50nm，带零位光栅）
l 多自由度光栅读数头调整座3个
l 轴承10个（零级）
l 轴承座3个
l 电机座4个
l 工作台面：航空超硬铝（7050）
l X向导轨座：航空超硬铝（7050）
l Y向导轨座：航空超硬铝（7050）
l Z向导轨座：航空超硬铝（7050）
l Z向导向保持架1个
l θZ向摩擦驱动装置1套
l θZ向导向保持架1个
l 联轴器3个：日本NBK公司产品
l 限位开关6个
l 球头带动结构2套
l 调整手轮3个
（2）电控系统
l 多轴运动控制板
l 通用RS-232通讯接口
l 高细分、低振动步进电机驱动器
l 模块化开关电源适配器
l 高精度零位测控系统
l 高精度光栅计数测量系统
l 高可靠软硬件限位保护系统
l 抗干扰、高可靠复位电路系统
l 便携式手提控制箱
l 采用屏蔽双绞线缆，有效抑制静电感应及电磁感应干扰。
（3）软件系统
l 人性化计算机控制界面程序（提供安装光盘，可定制）
l 高精度位置伺服复合控制程序