落地型薄膜控制旋转涂布机
产品简介
详细信息
设备概要：
适用尺寸：2”~ 12”Wafer基材。
基本规格：
外观材质：PP板组合焊接而成，可以耐酸碱侵蚀。
操作盆罩：SUS制，圆盆型设计。
盆罩掀盖：分离式透明PVC上盖。
吸盘规格：一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
操作方式：手动直接输入。
入料方式：手动给料。
液体种类：光阻剂，溶剂。
马达：AC Servo Motor（转速：10~6000 RPM）。
含真空帮浦（附PP防尘外罩）。
真空渗液保护：有，间接式防护设计。
真空简检知：有（可数位设计真空值kpa下限保护）。
保护装置：有。
保护制御：有一本装置的全部状态，异常检出。
电控系统：-软件：PLC。
使用操作界面：中文彩色触控面板。
配方模块：30组配方设定。
段数设定：每一配方模块均设30段段数。
适用尺寸：2”~ 12”Wafer基材。
基本规格：
外观材质：PP板组合焊接而成，可以耐酸碱侵蚀。
操作盆罩：SUS制，圆盆型设计。
盆罩掀盖：分离式透明PVC上盖。
吸盘规格：一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
操作方式：手动直接输入。
入料方式：手动给料。
液体种类：光阻剂，溶剂。
马达：AC Servo Motor（转速：10~6000 RPM）。
含真空帮浦（附PP防尘外罩）。
真空渗液保护：有，间接式防护设计。
真空简检知：有（可数位设计真空值kpa下限保护）。
保护装置：有。
保护制御：有一本装置的全部状态，异常检出。
电控系统：-软件：PLC。
使用操作界面：中文彩色触控面板。
配方模块：30组配方设定。
段数设定：每一配方模块均设30段段数。