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净化车间一般包括净化区、准净化区和辅助区三部分。

净化车间的平面布置可以有以下几种方式：
外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式：净化车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的净化度级别一般都较高，甚至和净化车间同级。
两端式：净化区设在一边，另一边设准净化和辅助用房。
核心式：为了节约用地、缩短管线，可以净化区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对净化区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。