PCE-80 8.5英寸等离子清洗机
产品简介
详细信息
PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
| 技术参数 | |
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| 主要参数 |
● 大射频功率: 100 W ● 真空泵功率: < 500W ● 总功率: < 600W ● 电源：AC 220V , 50Hz
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| 射频电源 |
● 射频功率可在 0 - 100W之间调节 ● 频率: 13.56 MH ● 可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验
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| 等离子腔体 |
● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 ● 铝制折叠式法兰来进行真空密封 ● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ● 此设备屏蔽射频辐射，零射频泄漏
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| 控制面板 |
● 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 ● 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量 ●
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| 真空泵（选配） |
● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ● 极限真空度为80mTorr（参考值，具体请点击） ●
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| 通入气体 |
● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） ● 不能使用及腐蚀性气体。
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| 可选 |
● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统 ●
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| 外形尺寸 |
620 L ×600 W ×600 H mm
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| 认证 |
CE认证
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| 质保期 |
● 一年保修，终身技术支持。 ● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。
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| 相关应用 |
● 请自行根据您的应用测试等离子功率 ● 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间 ● 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间 ● 可根据要求提供300W高功率射频电源
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