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在结构研究中, 大量的样品需要在高放大倍数、更多细节的水平上进行观察和分析。同时, 随着样品种类的不断增多(如: 低原子序数材料, 不导电材料等), 需要扫描电子显微镜提供优异的低加速电压性能, 以获得高质量的真实表面图像。Inspect F50 场发射扫描电子显微镜系统就是根据这一要求而设计的。它还提供了低加速电压的背散射电子图像, 薄样品的暗场/明场STEM(扫描透射)像。Inspect F50 系统操作和维护方便, 同时可安装各种扫描电镜的附件(如: 能谱仪系统, 波谱仪系统, EBSD等等)。Inspect F50 是一款经典的场发射扫描电子显微镜。

场发射扫描电子显微镜Inspect F50的技术参数

1、灯丝: 超高亮度Schottky场发射灯丝

2、分辨率：1.0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV

二次电子:

1、0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV

减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)

背散射电子:

2、5nm @ 30kV

3、加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调

4、探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器

5、50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台

场发射扫描电子显微镜Inspect F50的主要特点

1、分子泵 + 离子泵真空系统

2、高稳定性、高亮度场发射灯丝，满足高分辨观察和微观分析的要求

3、可选FEI的STEM探测器，分辨率达到0.8nm

4、稳定的大束流(200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析

5、Windows XP操作系统