全自动涂胶显影机
产品简介
详细信息
基片尺寸
ψ50mm～ψ200mm
Cassette 晶舟
2-4个晶舟
Coater Unit 涂胶单元
1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
Robot Arm 机械手臂
3轴; X1, X2, X3
Hot Plate热盘单元
溫度50℃-180℃
Cooling Plate冷盘单元
溫度18-28℃
机台尺寸
D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
显影机基片尺寸
ψ50mm～ψ300mm
Developer 显影单元
1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm