半自动显影机
产品简介
详细信息
显影单元参数:
离心机
额定转速(德国电机): 0~5000rpm
转速最小调整量: 1rpm
转速精度: ±1rpm(500~300rpm)
加速度: 20000rpm/s
加速度最小调整量: 1RPM/S
承片台(chuck)
材料: 防静电PEEK材质(两个)与
晶片接触方式 : 真空吸附
吸附真空度检测: 数显压力传感器
显影单元参数:
离心机
额定转速(德国电机): 0~5000rpm
转速最小调整量: 1rpm
转速精度: ±1rpm(500~300rpm)
加速度: 20000rpm/s
加速度最小调整量: 1RPM/S
承片台(chuck)
材料: 防静电PEEK材质(两个)与
晶片接触方式 : 真空吸附
吸附真空度检测: 数显压力传感器