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● 提高三维扫描仪精度

采用自动标定的方式，大大增加了三维扫描仪的校准精度，

且确保三维扫描仪的标定精度，定位精度高达0.001mm。

● 提高识别率

采用光刻工艺，确保图案边界清晰、完整、锐利，识别度好。

● 自动角点检测功能

无需复杂的点角点过程，图案品质黑白对比明显，专用仪器，

靶标单元格逐格校准，覆盖式角点逐格校准技术。