原位电镜等离子清洗机
产品简介
详细信息
全新的: 原位等离子清洗系统GV10X
GV10x 是由美国ibss Group公司与具有的等离子源共同合作开发并生产的新一代原位等离子技术清洗系统。GV10x可以在分子泵运行的真空状态下工作，GV10x去除碳和碳氢污染的效率是传统方法的10-20倍，且具有价格优势。排除了SEM图像的干扰和成像中的黑色扫描框，保持SEM成像的高分辨率和稳定性；排除聚焦离子束(FIB)和透射电子显微镜(TEM)中的碳干扰。亮点:
功率：5 -99 W 连续可调等离子功率
工作环境：- 2 Torr to <5 mTorr (等离子源处真空度)
在较高的真空度下（大于50 毫托），清洗气体的平均自由程很短，允许在靠近等离子源的区域去除污染。
在较低的真空度下（小于50 毫托），清洗气体的平均自由程比较长，能均匀高效的清除碳污染。
整个清洗反应过程发生在分子泵运行的状态下，无需关闭抽真空系统。
柔和：使用中性氧或氢的自由基通过非动力学过程灰化气相碳氢化合物和表面碳。
Ibss group公司引进Gentle Asher 腔体拓展了GV10x的应用，用以清洁放入电子显微镜腔体前的样品。连接了GV10x的Gentle Asher™腔体 GA/GV 可以极大地防止黑色扫描方框的生成。在将电镜腔清洁到可接受的碳氢污染水平后，可以使用顺流工艺，通过简单地将GV10x源移动到Gentle Asher腔中，达到样品清洁和储存的目的。客户的报告声称这种有效的结合以更少的损伤巧妙地去除TEM样品台和任何类型样品的污染，同时保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳氢污染水平的易控制性。预清洁样品和样品台避免了污染电镜腔体，这样就延长了电镜清洗的周期。