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Inficon BPG400 大气压至超高真空真空计

广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）。

益处

• 测量范围非常广，从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
• 使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

零件号明细353-500BPG400 规管353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF353-500-I0BPG400规管353-502-ABPG400规管354-498Spare electronic BPG400 without Display354-499Spare electronic BPG400 with Display353-501BPG400 规管353-502BPG400 规管353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-505复合真空规353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R