ZPT-S大理石隔振光学平台
产品简介
详细信息
ZPT-S大理石隔振光学平台
产品特点：
■台面材料采用优质济南青大理石，表面精度高，耐腐蚀性强
■内置精密空气弹簧隔振系统，具备优异的隔振性能，自动调节水平功能
■该产品适用于平面度要求高的实验
技术指标：
■平面度：00级
■固有频率：1.0Hz～1.5Hz
■固有频率：1.0Hz～1.5Hz
■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92% y方向＜5Hz时：84%～90%
■重复定位精度：±0.05mm
x方向＜10Hz时：90%～96% y方向＜10Hz时：88%～93%
■振幅：< 1.0μm■重复定位精度：±0.05mm
接受客户任意规格定制生产
（1）气浮隔振型 装备地点：舜宇光学科技集团公司 产品规格：1500*1200*800mm
（2）阻尼隔振型 装备地点：中山大学微电子学院 产品规格：1500*1200*800mm
