全自动标准2-6寸匀胶显影机
产品简介
详细信息
大型匀胶/显影机
显影是指用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来的过程。PS版的显影则是在印版图文显现出来的同时，获得满足印刷要求的印刷版面和版面性能。显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。
产品介绍
适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺
设备配置:4套匀胶(显影)、10套热(冷)板单元
6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理
整机适合产能要求较高的批量产线
根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块
可选配MES协议转换模块
产品参数
旋转速度范围:20-5000rpm
加速度范围:20-20000rpm/s
转速精度:±1rpm
热盘温度范围:50℃-200℃
热盘温度均匀性:±1%
冷盘温度范围:20°℃-25°℃
冷盘温度均匀性:±0.2℃
光刻胶粘度:0-1000Cp(可选高粘度光胶机台)
胶泵类型:气动或电动胶泵
光刻胶或显影液管路:≤3路
流量监控:浮子式流量计(可选配超声流量计)
设备尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)