OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL 滑动式双温区PECVD
产品简介
详细信息
产品特点：
•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
•滑轨式可快速加热和快速冷却;
•两个加热区，温度梯度可达 200°c;
•可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、Zn0纳米管或纳米线及单层石墨烯等。
加热炉参数：
•温度：1200°C（<30min），连续工作温度：1100℃；
•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；
•输入功率：208-240V，单相，功率：3KW；
•高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗；
•炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
设备总体尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH
净重：610kg
注意：
采用氩气高于射频功率200W情况下，需特殊说明：设备需要特殊改造几测试，（有法兰过热情况）
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内