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ESNANO-系列技术参数如下

机台行程(X,Y) ：

300mm×200mm×200mm

400 mm×300 mm×250mm

分辨率：0.0001mm

测量行程：400mm×300mm (X×Y)

工件限高：250mm (Z)

载物台尺寸：600 mm×450 mm

示值系统：封闭式光栅尺

分辨率：0.1μm

示值精度：E = (2.0 + L/100) μm    (L单位:mm)

重复精度：0.002 mm

载物台尺寸：500 mm×400 mm

驱动系统：高稳定性 ,交流伺服马达及驱动器

传动方式：研磨级丝杆

导轨型式：高精度双滚动直线导轨(XY轴)、高精度双滑块导轨(Z轴)

操作方式：摇控手柄(可选)、鼠标拖运、程序检测

影像系统：高解析彩色摄影机

影像撷取卡：影像测量仪专用卡

物镜：全自动变倍远心镜头，光学放大倍率0.75×-4.5×,标配0.5×、1.5×、2.0×附镜各1件影像放大倍率：25-155×，加附镜可扩展到12-300×（实物到17'萤幕1024×768像素）

照明系统： 表面   程式控制四相LED环形光 轮廓   程式控制单相LED底部透射光

量测软件：自动版光学视觉量测软件

工作机台：高精度花岗岩平台

机台承重：50kg

整机重量：410 kg

整机尺寸：1500 mm×900 mm×1650 mm

电源：AC 220±5V、50Hz

使用环境：温度 20±3 ℃、湿度35%-65%

测量软件功能：

一、基本功能：

●笛卡尔坐标/极坐标转换                      ●/相对/工作坐标转换

●公/英制转换                                ●度/度分秒转换

●点/点群　                                  ●两点/多点求线

●三点/多点求圆及弧　                        ●B-spline线

●两点间的距离　                             ●两线间的平均距离

●点线间的距离　                             ●两圆心距离

●圆线距离 ●两线间的夹角及交点

二、特殊功能

1.软件控制光源。上光源为四相灯，下光源为直光源，增加机器适应性能。

2.量测工件无需调节摆正，软件提供坐标平移、旋转、摆正。

3.直接在影像及几何区标注/移动尺寸。直线修剪、延伸、倒角功能。

4.自主研发的全自动变倍远心镜头，高精度伺服变倍系统令测量真正全自动化，不需要在每次变倍后重新校正放大倍率，大大提高测量效率。

5.几何区点、线、圆/圆弧及直线端点、中点，圆心、象限点自动捕捉。

6.调节CCD参数设定，提高自适应力；去除毛边功能，以正确取得量测数据。

7.利用影像工具快速自动抓取基本几何轮廓边界点，直接拟合成线、圆、弧。

8.量测区工件放大摄像图形化输出，转成(.bmp、.jpg)。

9.测量数据化输出，转成WORD (.doc) 、EXCEL (.xls)。

10.SPC功能，直接输出管制图、制程能力指数，转成WORD、EXCEL

11.机械图形直接输出.dxf格式，实现2D抄数功能 ，与AutoCAD、Pro/e等其它软件无缝联接。

12.可转入.DXF格式文件，与工件实物或测量图形进行比对。并可直接在影像区任取两点得到误差测量值。

13.提供平面内直线度、圆度、角度分析，进行有效之品质检验

14.机台精度补偿，提高量测精度。

三、特点：

机身主体采用高精密天然花岗岩，具有稳定的温度特性和抗时效变形能力，保证测量的稳定性及长期使用的刚性。

标配由本公司自行开发的TC系列远心光学设计镜头，高性能，超低畸变，保证测量的精确度；精密多段定倍变焦，可先期储存入各段倍率的放大系数，使用时随时调出，不需再次校正，节约辅助时间，提高测量效率。

三轴均采用业界*可靠性的松下Panasonic AC伺服马达系统，所有运动控制均由专用的高速32bitDSP运动控制器进行，确保可靠性的高速测量。

三轴均采用研磨级丝杆，使机台运动更精确、快速、顺畅，噪音大幅度降低。

三轴均采用感应式限位开关，提高使用寿命及限位准确度与灵敏度。

机器预留有供以后升级的探针准备系统：光栅数显，数据接口，支架附件等。    方便用户随时升级，不需改装，简单快捷。

Z轴可选配探针，具有强大的三维测量功能（英国雷尼绍Renishaw系统）