3D激光干涉仪(型号:ZLM900-3D,德国JENAer公司生产,)
产品简介
详细信息
3D激光干涉仪--同步测量被测物体的位移、偏摆角和俯仰角 | ||||||
世界范围内,同类产品中效率精度的干涉仪。
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技术参数
位移测量范围 | 15 m |
位移测量分辨率 | 1.25 nm |
位移测量精度 | +/-0.4 ppm(需使用环境补偿器) |
位移测量速度 | 2 m/s |
位移速度测量精度 | 1 ppm |
角度测量范围 | +/-10° |
角度测量分辨率 | 0.012角秒 |
角度测量精度 | +/-0.1 ppm(角度沿某中心旋转) +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=轴向标定距离,单位为米) |
角度测量速度 | 90 rad/s |
角速度测量精度 | 1 ppm |
上图为从一个坐标轴方向同步测量物体的位移、偏摆和俯仰角光路图 视频演示上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分:信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) 三角关系的设定 测量结果的统计 在位置5开始测量 位移和角度的*测量 ISO230数据统计标准
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