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TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors

供应商：: 沈阳市司乐机器制造厂

企业类型：: 其他

产品简介

TX200-5自动滴胶匀胶显影机SpinProcessors高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪真空旋转涂层机整合多项功能：1自动匀胶2显影3清洗4刻蚀5去胶6水烘烤7掺杂产品简介：主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺

详细信息

TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors
高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪真空旋转涂层机

整合多项功能：
1 自动匀胶
2 显影
3 清洗
4 刻蚀
5 去胶
6 水烘烤
7 掺杂
产品简介：主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。
主要特点
TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors ：
32位工业计算机芯片组控制。
7英寸触摸屏显示，设定，控制。
TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors
可设定存储25个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
每个涂敷工艺过程可以设置100步不同的速度状态；
运行过程可以暂停，重复启动。
循环转移：次数：2的16次方= 65536次。

（用途：工艺过程重复部分的设定）

液晶显示屏可以实时显示
直观显示转速时间曲线。
第N个涂敷工艺过程
所处工作段
真空吸片状态。
设置时间；及实时运行时间。
设置速度；及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话，简洁，明了。

安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，
必须在安全的真空度下，电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。

转速精度更高：
300 - 10000 转/分，转速稳定性：+ - 0.1 %
转速10000转/分
NPP材质工作腔，外表面洁净光亮。美观，方便清洗。

能精确滴定5种胶体或气体。(包括胶体，显影液，定型液，氮气)
工作腔直径200mm。可以旋涂基片直径150mm圆片或 125mm*125mm方片
(图片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化学稳定性优异，对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显惰性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。

TX200-5自动滴胶匀胶显影机Spin Processors ：技术参数：
单相交流电源：220V.50Hz
电机功率：150W
旋转真空吸盘直径：4英寸（102mm，标准配置）
可选择配置：基片直径10—150mm可接受订货。
转数：300 - 10000 转/分。
整个工艺过程是一条连续的曲线。可加减速度。可重复跳转工艺过程。
可精确滴定5种胶体，液体或是气体。
可设定时间：1---9999秒。
标准包装：
结构尺寸： 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可选配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、滴胶筒，滴胶针头。