全自动8/12寸匀胶显影机
产品简介
详细信息
8-12英寸,圆形及方形基片,光刻胶旋涂及显影工艺
主要技术参数
1、晶片尺寸: 8-12英寸
2、上下料方式: 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速: 3000 rpm
转速: 6000
加速度: 30000rpm/s
最小调整量: 1rpm
转速精度: ±1rpm(50 rpm~6000 rpm)
4、吸盘(Chuck)
夹持方式: 真空吸附
吸盘真空检测: 数显真空压力传感器
5、 排风定期清洗: duct clean功能
6、PR nozzle: 直径1.2mm 每路胶嘴可单独保湿清洗
7、显影喷嘴: LD nozzle H nozzle GP nozzle可选
8、热处理单元: 热板HHP/LHP/AD单元(max.350℃) 6个,冷板CP单元2个,根据工艺制程不同可灵活选配
9、光刻胶供应: 采用高精度气动/电动计量泵
10、显影液供应: 采用N2加压
11、化学液恒温 : 水浴恒温 23±0.1℃
12、滴胶精度: ±0.1ml ;滴胶范围:0.6-3ml
13、WEE 边缘曝光: 可选配
14、恒温恒湿控制: 精密温湿度控制器 (THC)
应用行业
广泛服务于MEMS、OLED、光通信、Saw、*封装、科研等领域。